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高真空退火爐的設(shè)備優(yōu)勢與應(yīng)用

日期:2020-11-23瀏覽:1915次

  目前高溫退火爐加熱大都為管式爐或馬弗爐,原理為加熱絲或硅碳棒對爐體加熱,加熱與降溫速度慢,效率低下,也無法實現(xiàn)溫度的高的精度測量,加熱區(qū)域也存在不均勻的現(xiàn)象,華測儀器通過多年研究開發(fā)了一種可實現(xiàn)高的精度,高反射率的拋物面與高質(zhì)量的加熱源相配置,在高速加熱高速冷卻時,具有良好的溫度分布。可實現(xiàn)寬域均熱區(qū),高速加熱、高速冷卻,用石英管保護加熱式樣,無氣氛污染??稍诟哒婵?,高純度氣體中加熱。設(shè)備可組成均熱高速加熱爐,溫度斜率爐,階段加熱爐,是一種目前較為理想的真高空退火爐。
 
  高真空退火爐設(shè)備優(yōu)勢:
 
  1.高速加熱與冷卻方式
 
  高能量的紅外燈和鍍金反射方式允許高速加熱到高溫。同時爐體可配置水冷系統(tǒng),增設(shè)氣體冷卻裝置,可實現(xiàn)快速冷卻。
 
  2.溫度高的精度控制
 
  過紅外鍍金聚焦?fàn)t和溫度控制器的組合使用,可以精que控制樣品的溫度(遠(yuǎn)比普通加溫方式)。此外,冷卻速度和保持在任何溫度下可提供高的精度。
 
  3.不同環(huán)境下的加熱與冷卻
 
  加熱/冷卻可用真空、氣氛環(huán)境、低溫(高純度惰性氣體靜態(tài)或流動),操作簡單,使用石英玻璃制成。紅外線可傳送到加熱/冷卻室。
 
  高真空退火爐的應(yīng)用:
 
  1.電子材料
 
  半導(dǎo)體用硅化合化的PRA(加熱后急速冷卻)
 
  熱源薄膜形成·激活離子注入后硅化物的形成
 
  2.陶瓷與無機材料
 
  陶瓷基板退火爐
 
  玻璃基板退火爐
 
  陶瓷張力、撓曲試驗退火爐
 
  3.鋼鐵和金屬材料
 
  薄鋼板加熱過程的數(shù)值模擬
 
  爐焊接模擬
 
  高真空熱處理(1000℃以下)
 
  大氣氣體熔化過程
 
  壓力下耐火鋼和合金的熱循環(huán)試驗爐
 
  4.復(fù)合材料
 
  耐熱性評價爐
 
  無機復(fù)合材料熱循環(huán)試驗爐
 
  5.其它
 
  高溫拉伸壓縮試驗爐
 
  分段分區(qū)控制爐
 
  溫度梯度爐
 
  爐氣分析
 
  超導(dǎo)陶瓷退火爐

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